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室内空气质量监测，室内烟雾报警等
灵敏度下、相应规复快、寿命少
MEMS 酒精气体传感器应用MEMS工艺的Si基微热板和正在清洁氛围中电导率较低的金属氧化物半导体材料构成。当环…
MEMS 二氧化氮气体传感器应用MEMS工艺正在Si基衬底上建造微热板，所运用的气敏质料是正在干净氛围中电导率较低…
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MEMS烟雾气体传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和正在清洁氛围中电导率较低的金属氧化物半导体气敏质料构成。…
